Преобразователь Частоты Свч

2005 №5

Обзор призван дать представление о современном уровне развития гибридных интегральных схем (ИС) сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона. Рассмотрены различные аспекты разработки и изготовления СВЧ-устройств в виде многослойных интегральных схем на основе керамики с низкой температурой обжига (КНТО). Приведены конструкции и характеристики как экспериментальных образцов, так и коммерческих СВЧ-устройств на КНТО. Первая часть обзора посвящена технологии изготовления и элементной базе многослойных ИС на основе КНТО.

Введение

К ключевым моментам, определившим современный уровень развития радиоэлектроники, относятся: смещение несущей частоты радиосигналов в область сверхвысоких частот (СВЧ), применение цифровой обработки сигналов и внедрение интегральной технологии.

Повышение несущей частоты радиосигнала (уменьшение длины волны) было связано, прежде всего, с перегруженностью низкочастотной области спектра, а также с необходимостью резкого увеличения емкости каналов связи и скорости передачи информации. Уменьшение длины волны излучения также привело к повышению разрешающей способности радаров, позволило применять помехоустойчивые виды модуляции и т. д.

Повсеместный переход к цифровым системам вызван колоссальными возможностями цифровой обработки сигналов — кодирования, управления, организации сервисов и др. Приемо-передающие устройства современных телекоммуникационных систем включают антенну, СВЧ-тракт, преобразователь частоты (смеситель) и цифровую часть.

Развитие интегральной технологии сделало возможным выполнение отдельных элементов и целых функционально законченных узлов как цифровой, так и высокочастотной частей устройства в виде малогабаритных интегральных схем (ИС).

Новейшие многослойные технологии позволяют объединять все пассивные компоненты СВЧ-тракта, включая антенну, в единую ИС. Использование трехмерной конструкции позволяет создавать миниатюрные структуры с высокой степенью интеграции и открывает широкие возможности для улучшения электродинамических, массогабаритных, климатических, экономических и других параметров.

Технологический процесс изготовления многослойных ИС на КНТО Использование фотолитографии для изготовления узких проводников [3] Температурный профиль обжига КНТО (на примере DuPont GreenTape 943)

Похожие страницы: